Описание продукции
PEES (pEES) несет кислотолабильную этоксиэтоксизащитную группу, с которой можно быстро снять защиту под действием кислотного катализа. Он отличается хорошей термической стабильностью и сверхнизким содержанием металлических примесей. Его можно полимеризовать для получения полигидроксистирола (PHS) для химически амплифицированного фоторезиста KrF высокого разрешения.
Спецификация продукции
| Название продукта | PEES/4-(этоксиэтокси)стирол |
| № КАС | 157057-20-0 |
| ПУНКТ № | M120 |
| Появление | Бесцветная прозрачная жидкость |
| Чистота | Больше или равно 99% |
| Содержание воды | Меньше или равно 0,05 % |
| Примеси ионов металлов | Меньше или равно 1 ppb |
| Упаковка | 100 г/1 кг/10 кг и т. д. |
| Доставка | 2-3 дня |
| Хранилище | комнатная температура |
| Паспорт безопасности/сертификат подлинности/TDS | Подключите нас |
Применение продуктов
ПЭЭС (п-(1-этоксиэтокси)стирол) в основном используется для синтеза фоторезистивных смол KrF в полупроводниковой микроэлектронике, функциональных полимерных материалах и в области исследований и разработок новых передовых материалов.
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Каковы требования к хранению PEES?
A: Стабилизировано ингибитором ТБЦ. Хранить запечатанным при температуре 2–8 градусов от света. Изолируйте воздух и источник тепла, чтобы предотвратить самополимеризацию винила и преждевременное снятие защиты кислотой.
Вопрос: Каков принцип мономера PEES в системе фоторезистивной смолы KrF?
A: PEES содержит чувствительную к кислоте этоксиэтокси-защитную группу. Фотокислота, образующаяся после воздействия литографии, вызывает снятие защиты. Смола меняется с нерастворимой в щелочи на растворимую в щелочи, чтобы обеспечить формирование рисунка пластины.
Вопрос: Какая защита требуется для работы PEES согласно Паспорту безопасности?
Ответ: Раздражает глаза, кожу и дыхательные пути. Работу следует проводить в вытяжном шкафу с очками, перчатками, устойчивыми к растворителям, и защитной маской.
Вопрос: В чем основная разница между фоторезистными мономерами PEES и pACS/PTBS?
A: PEES имеет этоксиэтокси-защитную группу с быстрой скоростью снятия кислотной защиты. pACS нуждается в гидролизе для снятия защиты, PTBS имеет трет-бутоксигруппу. Они рассчитаны на разную чувствительность фоторезиста.
Вопрос: Что происходит с кислотолабильной защитной группой мономера ПЭЭС во время воздействия фоторезиста KrF?
Ответ: При воздействии образуется фотокислота. Этоксиэтоксизащитная группа быстро расщепляется. Полимер превращается в фенольную гидроксильную структуру, меняя структуру с нерастворимой в щелочи на растворимую в щелочи для развития литографического рисунка.
горячая этикетка : номер cas: 157057-20-0 моча/4-(этоксиэтокси)стирол, Китай номер cas: 157057-20-0 моча/4-(этоксиэтокси)стирол производители, поставщики
